旋片真空泵
　　旋片真空泵是獲得低、中真空泵的主要泵種之一。它可分為油封泵和干式泵。根據(jù)所要求的真空度，可采用單級泵和雙級泵,其中以雙級泵應(yīng)用更為普遍。
　　旋片真空泵的簡介：旋片真空泵主要由泵體（靜子）和轉(zhuǎn)子組成。在轉(zhuǎn)子槽中裝有兩塊以上的旋片，有些泵旋片間還裝有彈簧。轉(zhuǎn)子偏心地裝在泵腔內(nèi)，其外緣與泵腔頂部表面的間隙為2～3微米。轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，在離心力等作用下,旋片沿槽作往復(fù)滑動并與泵腔內(nèi)壁始終保持接觸,將泵腔分成兩個或幾個可變?nèi)莘e的工作室。轉(zhuǎn)子順時針方向旋轉(zhuǎn)時,與吸氣口相通的吸氣腔容積由零逐漸增大,腔內(nèi)氣體壓力降低，被抽氣體便從吸氣口不斷地吸入。同時,與排氣口相通的排氣腔容積由大變小，吸入腔內(nèi)的氣體被壓縮，待氣體壓力高于大氣壓力時，推開排氣閥排出大氣。轉(zhuǎn)子連續(xù)轉(zhuǎn)動，泵便不斷抽氣。
　　旋片真空泵的工作原理：
　　旋片泵的工作原理：旋片泵主要由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、定蓋、彈簧等零件組成。其結(jié)構(gòu)是利用偏心地裝在定子腔內(nèi)的轉(zhuǎn)子（轉(zhuǎn)子的外圓與定子的內(nèi)表面相切兩者之間的間隙非常?。┖娃D(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動的借助彈簧張力和離心力緊貼在定子內(nèi)壁的兩塊旋片，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，始終沿定子的內(nèi)壁滑動。
　　兩個旋片把轉(zhuǎn)子、定子內(nèi)腔和定蓋所圍成的月牙型空間分隔成A、B、C三個部分，當(dāng)轉(zhuǎn)子按圖示方向旋轉(zhuǎn)時，與吸氣口相通的空間A的容積不斷地增大，A空間的壓強不斷的降低，當(dāng)A空間內(nèi)的壓強低于被抽容器內(nèi)的壓強，根據(jù)氣體壓強平衡的原理，被抽的氣體不斷地被抽進(jìn)吸氣腔A，此時正處于吸氣過程。B腔的空間的容積正逐漸減小，壓力不斷地增大，此時正處于壓縮過程。而與排氣口相通的空間C的容積進(jìn)一步地減小，C空間的壓強進(jìn)一步的升高，當(dāng)氣體的壓強大于排氣壓強時，被壓縮的氣體推開排氣閥，被抽的氣體不斷地穿過油箱內(nèi)的油層而排至大氣中，在泵的連續(xù)運轉(zhuǎn)過程中，不斷地進(jìn)行著吸氣、壓縮、排氣過程，從而達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。
　　排氣閥浸在油里以防止大氣流入泵中，油通過泵體上的間隙、油孔及排氣閥進(jìn)入泵腔，使泵腔內(nèi)所有運動的表面被油覆蓋，形成了吸氣腔與排氣腔的密封，同時油還充滿了一切有害空間，以消除它們對極限真空的影響。